西安志阳百纳真空镀膜有限公司 专注 PVD 真空镀膜 · 模具 / 刀具 / 零部件表面强化

多弧离子镀

真空镀膜设备与靶材装炉
技术资讯

靶距与镀层厚度的关系

多弧离子镀中靶距直接影响膜层厚度与均匀性:靶距近沉积速率高但均匀区小,靶距远均匀性好但速率低,装炉设计要按零件尺寸权衡。

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