真空镀膜设备制备碳膜
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新技术：利用PVD工艺制备石墨烯膜层

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石墨烯薄膜因其超高导电导热与超低摩擦备受关注，PVD（溅射/蒸发+转移或等离子体法）可在特定基材上制备石墨烯或类石墨烯碳膜，用于功能涂层。