在精密机械、海洋装备、生物医学等领域的极端工况下,一种名为四面体非晶碳(ta-C)的金刚石膜正以其卓越性能开创表面工程新纪元。
作为类金刚石碳(DLC)材料的重要分支,ta-C金刚石膜因其高sp³键含量(>50%)展现出类金刚石的超硬特性(>50 GPa)、超低摩擦系数(<0.1)及优异的化学惰性。
这种材料通过先进的过滤阴极真空电弧(FCVA)技术和多弧离子镀技术制备,正在成为解决极端工况下设备磨损、腐蚀问题的关键技术。
01 何为TA-C金刚石膜
ta-C(四面体非晶碳)金刚石膜是一种无氢类金刚石涂层,具有非晶态结构和主要由sp³键构成的四面体键合网络。
这种结构使其在性能上接近金刚石,拥有极高的硬度、优异的耐磨性和低摩擦系数,同时具备良好的化学稳定性和红外透光性能。
与普通类金刚石膜相比,ta-C膜的sp³键含量更高(通常超过50%,甚至可达80%-90%),这意味着它具有更接近金刚石的特性,硬度可达到HV8000。
ta-C涂层根据应用需要,可以制备成不同厚度(从0.1-0.3μm到1-20μm不等),满足从精密刀具到大型工业部件的不同需求。
02 卓越性能数据说话
实验数据表明,单层ta-C薄膜在-100 V偏压下制备时,sp³键含量达65.15%,兼具高硬度(61 GPa)、低摩擦系数(0.095)、优异耐磨性(磨损率1.95×10⁻⁸ mm³/N·m)与耐腐蚀性(3.5 wt% NaCl溶液中腐蚀电流密度3.08×10⁻⁸ A/cm²)。
进一步开发的软(-400 V)/硬(-100 V)交替多层结构,通过界面强化效应显著降低残余应力(从-4.17 GPa降至-0.54 GPa),并提升综合力学性能(硬度55.72 GPa,弹性模量483.52 GPa)。
该结构在摩擦过程中诱导石墨化转移膜形成,使摩擦系数稳定于0.093,磨损率低至4.82×10⁻⁸ mm³/N·m,同时展现超高耐腐蚀性(腐蚀电流密度9.55×10⁻¹⁰ A/cm²,防护效率98.7%)。
03 技术原理与制备工艺
ta-C金刚石膜的制备主要采用物理气相沉积(PVD)技术,特别是过滤阴极真空电弧(FCVA)技术和多弧离子镀技术。
多弧离子镀膜技术是在真空条件下,采用电弧放电的方法,在固定的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子,从而在被镀基体表面沉积成为薄膜的方法。
先进的多弧离子镀膜设备由镀膜室、多弧靶、多弧电源、脉冲偏压电源、样品台、加热、真空系统、气路系统等组成。
真空室尺寸可达Ø1000mm * H1000mm,均匀可镀区为Ø600mm * H600mm,极限真空度可达3.0*E-4Pa。
制备过程中,通过调制电磁驱动的电弧放电沉积金属层或金属与C和/或N的化合物作为基础层,然后再通过调制强流脉冲电弧形成无氢四面体非晶碳层的类金刚石涂层。
04 应用领域广泛
ta-C金刚石膜在多个工业领域具有重要应用价值:
精密刀具与模具涂层:ta-C涂层可极大延长刀具使用寿命,提高加工质量。研究表明,ta-C涂层铣刀较氢化类金刚石涂层刀具使用寿命提高2倍以上。
光学器件与传感器防护:金刚石膜从紫外到红外广阔频带里都有很高的光学透射率,是优异的光学窗口材料。
海洋工程与耐腐蚀部件:ta-C膜展现超高耐腐蚀性,腐蚀电流密度可达9.55×10⁻¹⁰ A/cm²,防护效率98.7%,非常适合海洋环境应用。
生物医学植入器械:ta-C膜具有良好的生物相容性和化学惰性,可用于人工关节涂层等医疗应用。
航空航天耐磨部件:ta-C膜的高硬度和低摩擦系数使其非常适合航空航天领域的耐磨部件。
05 优势与前景
ta-C金刚石膜的优势在于其卓越的综合性能:高硬度、低摩擦系数、优异耐磨性和耐腐蚀性。
通过多层结构设计,成功解决了高残余应力与界面结合力不足等问题,大大扩展了其工程化应用前景。
随着制备技术的不断进步和成本的逐步降低,ta-C金刚石膜在工业领域的应用正在不断扩大。
未来,随着新材料加工需求的增长和高端装备制造业的发展,ta-C金刚石膜的市场前景十分广阔。
采用多弧离子镀技术制备的ta-C金刚石膜,正在精密刀具、光学器件、海洋装备等领域发挥重要作用。
随着技术的不断进步,ta-C金刚石膜还将在新能源汽车、航空航天、生物医学等更多领域展现其独特价值。
未来,通过工艺优化和结构创新,ta-C金刚石膜的性能将进一步提升,应用领域也将不断扩展,为高端制造业发展提供关键技术支持。
西安志阳百纳真空镀膜有限公司成立于2010年,是一家专业真空镀膜加工企业,公司拥有雄厚的技术背景,与多家985高校实验室有合作及技术交流,公司技术人员在真空镀膜行业有资深经历。公司目前有PVD真空多弧离子镀膜和金刚石镀膜设备数台。表面镀层可选:类金刚石膜Ta-C、石墨烯膜Zy-C.钛、铬、铜、铝、镍、镍、铬、锆等金属单质膜。各种氮化物(比如氮化钛TiN),各种碳化物(比如TiC),氧化物(TiO2等),碳氮化物等化合物膜层,复合多层膜等。 镀层特点:表面硬度高、致密性好、耐久性强、附着强度高,适合表面要求高的零部件。 可在各种金属,玻璃,陶瓷,塑料,碳纤维上镀以上镀层,镀层厚度200nm~1000nm,普通镀层硬度2000~2500HV(维氏硬度),金刚石镀层硬度7500HV(维氏硬度)
